資料詳細

はじめての薄膜作製技術貸出中

草野英二／著 -- 森北出版 -- 2012.11 -- 549.8

所蔵

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所蔵館	所蔵場所	請求記号	資料番号	資料区分	帯出区分	状態
一般	一般資料室	549.8/2012/	00012549663	和書	帯出可	貸出中

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資料詳細

タイトル	はじめての薄膜作製技術 ,
書名ヨミ	ハジメテノハクマクサクセイギジュツ
著者	草野英二／著
著者名ヨミ	クサノ,エイジ
出版者	森北出版
出版年	2012.11
ページ数, 大きさ	7,160p, 22cm
NDC１０版	549.8
NDC８版	549.8
一般件名	薄膜
ISBN	978-4-627-77452-0
注記	初版:工業調査会 2006年刊
著者紹介	神戸大学大学院工学研究科工業化学専攻修士課程修了。金沢工業大学バイオ・化学部教授。博士(工学)。
内容紹介	現代社会を支える基盤技術として欠くことのできない薄膜作製技術。その基礎から、真空蒸着法やスパッタリング法といった真空下における薄膜製作方法、薄膜の評価技術、応用までを解説する。

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