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よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み 貸出可

佐藤 淳一／著 -- 秀和システム -- 2013.3 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.8/2013/ 00012575064 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル よくわかる最新半導体プロセスの基本と仕組み ,
書名ヨミ ヨク ワカル サイシン ハンドウタイ プロセス ノ キホン ト シクミ
副書名 プロセスの全体を俯瞰する
叢書名 図解入門
著者 佐藤 淳一 ／著  
著者名ヨミ サトウ,ジュンイチ
出版者 秀和システム
出版年 2013.3
ページ数, 大きさ 230p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体
ISBN 978-4-7980-3761-5 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
著者紹介 京都大学大学院工学研究科修士課程修了。ナノフロント研究所代表として半導体技術コンサルタント、テクニカルライターとして活動。応用物理学会員。著書に「半導体の基礎強化書」など。
内容紹介 ウェーハから半導体ファブ、前工程、後工程まで、半導体のプロセスの全てを豊富なイラストで俯瞰できるように、わかりやすいイメージの図や表を交えて解説。歴史的経緯にもふれる。

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