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超微細加工技術 貸出可

徳山 巍／編著 -- オーム社 -- 1997.2 -- 549.8

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 公開書庫西 549.8/97/ 00003274875 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル 超微細加工技術 ,
書名ヨミ チョウビサイ　カコウ　ギジュツ
叢書名 応用物理学シリーズ
著者 徳山 巍 ／編著  
著者名ヨミ トクヤマ,タカシ
出版者 オーム社
出版年 1997.2
ページ数, 大きさ 309p, 22cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体
内容紹介 1.序論 2.光リソグラフィ技術 3.電子線リソグラフィ技術 4.イオンビームリソグラフィ技術 5.X線リソグラフィ技術 6.レジスト材料 7.エッチング技術 8.形状シミュレーション技術 ほか1章

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