工業調査会/編 -- 工業調査会 -- 2001.8 -- 576.5

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 576.5/2001/ 00008793416 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

資料詳細

タイトル すぐ使える洗浄技術 ,
書名ヨミ スグ ツカエル センジョウ ギジュツ
副書名 装置・洗浄剤の機能と特徴
著者 工業調査会 /編  
著者名ヨミ コウギョウ チョウサカイ
出版者 工業調査会
出版年 2001.8
ページ数, 大きさ 358p, 21cm
NDC10版 576.5
NDC8版 576.5
一般件名 洗浄法
内容紹介 洗浄装置と洗浄剤を中心に、洗浄装置の抱える技術課題や解決方法、装置選定のポイントの他、代表的な洗浄装置、代替洗浄剤について、それぞれ専門技術者が詳細に解説する。半導体・液晶製造現場の代替洗浄の事例も紹介。