資料詳細

  • 1 件中、 1 件目

はじめての半導体ナノプロセス 貸出可

前田 和夫／著 -- 工業調査会 -- 2004.2 -- 549.8

所蔵

所蔵は 1 件です。現在の予約件数は 0 件です。

所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 549.8/2004/ 00011248846 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

ページの先頭へ

資料詳細

タイトル はじめての半導体ナノプロセス ,
書名ヨミ ハジメテ　ノ　ハンドウタイ　ナノプロセス
叢書名 ビギナーズブックス
著者 前田 和夫 ／著  
著者名ヨミ マエダ,カズオ
出版者 工業調査会
出版年 2004.2
ページ数, 大きさ 239p, 21cm
NDC１０版 549.8
NDC８版 549.8
一般件名 半導体 , ナノテクノロジー
内容紹介 ナノテクノロジー時代の半導体プロセス技術について、これまでの技術の流れからどのような変革が行われようとしているかを具体的に解説。半導体デバイス、実装技術、測定・評価技術などの重要テーマの動向についてもふれる。

ページの先頭へ