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ドライプロセス表面処理大全 貸出可

関東学院大学材料・表面工学研究所／編 -- 日刊工業新聞社 -- 2019.3 -- 566.7

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所蔵館 所蔵場所 請求記号 資料番号 資料区分 帯出区分 状態
一般 一般資料室 566.7/2019/ 00013817564 和書 帯出可 在庫 iLisvirtual

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タイトル ドライプロセス表面処理大全 ,
書名ヨミ ドライ プロセス ヒョウメン ショリ タイゼン
叢書名 技術大全シリーズ
著者 関東学院大学材料・表面工学研究所 ／編  
著者名ヨミ カントウ ガクイン ダイガク ザイリョウ ヒョウメン コウガク ケンキュウジョ
出版者 日刊工業新聞社
出版年 2019.3
ページ数, 大きさ 285p, 21cm
NDC１０版 566.7
NDC８版 566.7
一般件名 金属表面処理 , 薄膜
ISBN 978-4-526-07968-9 国立国会図書館 カーリル GoogleBooks WebcatPlus
内容紹介 真空や大気圧下で金属、無機化合物、有機化合物などの薄膜を形成する表面処理方法であるドライプロセス。真空技術や基板前処理などの基礎、PVD、CVD、エッチングなどの原理を解説し、応用例や最新技術等を紹介する。

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